时间:2022-11-11 11:11:11

施工案例
特气系统工程
  特气系统到底有何作用?一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中,全部工艺大约要使用50种不同的电子气体.其中大部分为特种气体,小编就特气系统该怎么选择?

  特种气体根据气体性质不同一般分为:惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应包装的不同分为:特种气体和大宗特种气体。

  简单特气供气系统

  简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单,通常不需要连续性供气,对气体供应系统的投资预算低。

  由于气体流量小,不经常使用,特种气体气源多采用普通钢瓶(<50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板;配置继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空,有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统,有些甚至用单瓶系统。全部气体共用一个气体房,甚至没有气体房,特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道,或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

  常规特气供气系统

  常规供气系统主要应用于4-6英寸大规模集成电路厂,50MW以下的太阳能电池生产线,发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻,系统配备在满足安全的前提下尽量简单,节省投资。

  特种气体采用普通钢瓶(<50L)供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架,继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空;VMB主管气动阀,氮气吹扫;支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。

  大宗特气供气系统

  大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米)超大规模集成电路厂(气体种类包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等),100MW以上的太阳能电池生产线(气体种类包括NH3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括NH3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF3)等、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。它们的投资规模巨大,采用先进的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出很严格的要求。

  这些工厂的特种气体的供给,除了普通钢瓶(50L及以下)包装的特种气体外,还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器,由此它们被称为大宗特气,包括Y-钢瓶(450L),T-钢瓶(980L),集装格(940L),ISO罐(22,500L),鱼雷车(13,400L)等。

  大宗特气供应系统(BSGS)采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。特种气体采用独立气源,多用点采用VMB或VMP分路供应,VMB或VMP采用支路气动阀,氮气吹扫,真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大,多采用独立的气体房,独立的抽风系统

高纯电子特气系统——特气系统里的特气设备!
  随着现在半导体行业、实验室和工业综合厂房的不断发展,高纯电子特气系统被广泛应用。GR特气架、GC特气柜在这些行业里成为了标配,很容易见到。

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  高纯电子特气系统输送的气体,是特气,具有腐蚀、剧毒等性质的危险性气体,那它的特气设备的配置、使用有哪些规范呢?

  GC特气柜是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性气体供应而设计的供应系统,按类别分全自动、半自动和手动操作。基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断(当设定报警信号被触发时)。

  咱们下面以全自动特气柜(GC)为例,全自动特气柜以PLC为控制主体,配合触摸屏进行系统显示和设定,搭配不同的盘面设计,以满足太阳能、半导体行业需求。

  特气系统设备GC配置规范:

  1.GC应配置作业用气体面板。

  2.气柜应有带机械锁的自关闭的柜门,可实现自动关闭功能,并且配备防爆玻璃观察窗,递交螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。

  3.气瓶柜在柜门关闭时,气瓶柜内部是处于负压状态,而且不得低于100Pa,还有柜内的排风换气的频率不能低于300次/H。

  4.报警侦测警报功能齐全。

  5.气瓶柜的板材需要有防腐蚀涂层,且板材厚度不得低于2.5mm。

  6.急停按钮应位于控制面板上

  对于有特殊需求的客户,特气柜可能需配备一些其他的安全装备,比如:气柜里安装喷淋头,在气体下游流量过大是报警的过流开关,需要安装温度开关的可燃气体系统等,具体的配置是根据需求发生改变的。

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