品牌特气柜厂家
特气柜应用案例

特气柜应用案例

时间:2022特点:安全供气 特气柜价格低

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    特气柜尺寸

    800mm长×540mm宽×1800mm高

    控制柜尺寸

    800mm长×230mm宽×320mm高

    特气柜参数

    PN2入口压力:80PSI,1/4MALEVCR接口

    GN2入口压力:80PSI,1/4MALEVCR接口

    CDA入口压力:4-10bar,1/4卡套接口

    VENT出口:1/2VCR接口

    工艺气体出口:两路1/4MALEVCR接口

    特气柜柜体换气量:SiH4-1200次/小时,其余300次/小时

    电源:220V(半自动)

    防爆玻璃观察窗:标配

    按瓶数分类:单瓶柜(架)/二瓶柜(架)

    按操作方式分类:手动、半自动。

    产品优势

    1、气路配件,接头、阀门等全部是进口电子级材料,管道为316L,自动轨道焊接。

    2、气路设计合理完善,工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能,气瓶柜留有排气口,并具有负压检测。根据实际需要可安装称重、加热等装置。

    3、气瓶柜箱体采用安全设计,所选用的材料适用于各种不同性质的气体,美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。

    4、完善的安全报警装置,具有气体泄漏检测报警(如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警)报警信号被触发时,自动切断。

    5、交货期短,常用配件备有大量库存。

    6、完善的售前、售后服务,赢得客户认可。

    产品应用

    可以为MOCVD、PECVD、刻蚀机等设备配套,应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业。


特气柜内部图

特气柜内部图